??? ? ??? ?? ?? ?? ??? ???? ?????. ??? ??? ?? ????? ?? ???? ??? ??? ????? ???? ??? ?? ??? ???? ??? ??? ???. ³Ô¹ÏÍø ? ??? Voyager? 1035 ??? ??? ?? ??? ???? ???? ? ?? ?? ??? ?? ??? ?? ??? ??????? ??? ? ??? ?????. Voyager 1035 ? ?? ??? ??? ????? ?? ???? ?? ???? ???? ??? ? ??? ?? ?? ?? ?? ??? ????? ??? ????.
Voyager?1035 ??? ??? ?? ??? ?? ?? ???
?? ?? ? ??? ??? ? ??? ?? ??? ?? ???? Voyager 1035 ? ??, ?? ? ?? ?? ??? ??? ??? ?????. ?? ??? ?? ???? ????? ?? Voyager 1035 ? ??? ?? ??, ? ?? ???? ? ?? ?? ??? ???? ?? ???? ?? ?? ?? ??? ??? ??? ????. ?? ?? ??? ?? ????? ??? ? ??? ???? ???? ?? ??? ?? ??? ??? ? ???? ?? ??? ?? ???? ???? ???? ? ????.
DefectWise? ? ?? ??? ??? ?? ??? ?? ??? ???? ??? ?? ?? ??? ????????? ??? ?? ?????.
Voyager 1035 ? ????? ??? DefectWise? ? ?? ?????. DefectWise ? ?? ??? ? ??? ???? ?? ??? ????? ??? ???? ??? ??? ?? ??? ?? ??? ?????. DefectWise ? ??? ?? ?? ??? ?????? ??? ?? ????? ?? ??? ???? ???? ? ??? ??? ?????.
??? ???? ???? Voyager 1035 ? ?? ?? ??? ??? ????.
- ?? ??? ???? ??? ? OTL (outside-the-lens) ??? ?? ???? ?? ?? ?? ??
- ?? ??? ?? ?? ????? ?? ? ?? ?? ???? ??? ???? ??? ?? ??? ??? ?? ? ?? ??? ??
- 3 ?? ??? ??? ?? ??? ?? ??? ???? ???? ??? ?? ?? ??
??? ??
*?????? SEM ???
- ??? ??? ???? (Quantum Efficiency)? 30% ?????? EUV ????? ?? ?? ? ??(ADI) ? ???? ?? ????(PCM)? ?? ?? ???? ???? ??? ???? ?? ?? ?? ??? ?? ? ?? ???? ? ?? ??? ??
- ??? ?? ?? ???? ?? ?? Voyager ?? 70% ??? ???? ???? ?? ??, ??? ??? ?? ??? ?? ?? ??
Voyager 1035 ¨C ??? ?? ??? ??? ?? ??? ?? ???? ??? ???? ??? ??? ???? ??? ??? ???? ????.
Voyager 1035 ? ? ?? ?? ?? ??? ?? ??? ??? ?? ????? ??? ? ????.